Diagnostik an HiPIMS-Magnetronsputterplasmen

Plasmagestützte Beschichtungsverfahren, insbesondere Magnetronsputterprozesse, zählen zu den essenziellen Methoden der modernen Materialverarbeitung. Struktur und Eigenschaften der entstehenden Dünnfilme basieren dabei wesentlich auf der Wechselwirkung von Plasmaspezies und Substrat. In diesem Buch wird die Diagnostik gepulster HiPIMS-Plasmen („High power impulse magnetron sputtering“) diskutiert,...