Die Zukunft der Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik (MST) stellt bereits heute einen wichtigen wirtschaftlichen Faktor für zahlreiche Industrieunternehmen dar. Mit der MST verbinden sich sehr große Erwartungen, daß auch die nahe Zukunft maßgebliche Innovationen, neue Technologien und vor allem darauf basierende, neue kommerzielle Produkte hervorbringen wird. Ausgehend von kombinierten elektronischen, mechanischen oder chemisc...