Elektromechanische Systeme

Elektromechanische Systeme, bestehend aus wechselwirkenden elektrischen, mechanischen und akustischen Teilsystemen gewinnen im Präzisionsgerätebau, in der Sensor- und Aktortechnik, der Elektroakustik sowie in der Medizintechnik eine immer größere Bedeutung. Durch die Anwendung der Silizium-Mikromechanik nimmt ihre Verbreitung in Form von integrierten Mikrosystemen weiter zu. Die Vermittlung einer ...