Epitaxie von Metallaufdampfschichten

Unter Epitaxie versteht man das orientierte Aufwachsen dünner Schichten auf einer kristallinen Unterlage. Im Idealfall erreicht man einkristalline Schichten, welche die Kristallorientierung der Unterlage fortsetzen. Bei der Aufdampf­ methode muß man in der Regel erhöhte Temperaturen der Unterlage während des Aufdampfprozesses anwenden, um Epitaxie zu erreichen. In vielen Fällen spielen auch Adsorp...