MEMS in der Mikrosystemtechnik

Sie messen den Reifendruck, lösen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter­ platten platziert werden. Vom Automobil übe...