Reinraumtechnik

Ausgehend von reinraumtechnischen Problemstellungen werden die Grundlagen und Anwendungen beschrieben und daraus Prinzipien für technische Lösungswege hergeleitet. Für alle wichtigen Aspekte der Kontaminationskontrolle werden Methoden zum Nachweis von Mikroverunreinigungen, technische Lösungskonzepte und deren Leistungsgrenzen dargestellt. Eine Besonderheit des Buches liegt in der systematischen V...