Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten

Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Dar...