Dieses Buch behandelt neue Prinzipien und Methoden der Nanoprozesstechnik auf der Grundlage physikalischer/chemischer Effekte durch interdisziplinäre Forschung und zeigt Oberflächen-/Grenzflächeneffekte und Skaleneffekte bei der Verarbeitung, Formung, Modifizierung und skalenübergreifenden Herstellung im Nanomaßstab und mit nanoskaliger Präzision auf.